Kazuhiro Kishi, Masashi Kawaguchi, Hitoshi Miura, *Masahide Sato and Makio Uwaha,
Relation between the Step Pattern and the Velocity of the Moving Linear Adatom Source,
e-Journal of Surface Science and Nanotechnology 13, 269-274 (2015).
概要: シリコン表面にガリウムを入射させた時に見られる櫛状パターン形成の形成過程について,フェーズフィールドシミュレーションで調べた。櫛状パターンは,ステップの異方性で決まる臨界値よりも,成長速度が小さいときに形成されることがわかった。また,形成の過程で櫛の歯状の枝の間隔が粗大化することがわかった。櫛の歯の間隔は,粒子供給源に櫛の歯の先端が到達までにかかる時間で決定されることがわかった。