*Shinji Watanabe, Toshio Ando,
High-speed XYZ-nanopositioner for scanning ion conductance microscopy,
Applied Physics Letters 111, 113606/1-4 (2017).
概要: 走査型イオン伝導顕微鏡(SICM)のための高速XYZナノポジショナーを設計した。Z、XYアクチュエータの共振周波数はそれぞれ100kHz、2.3kHzであり、ストロークは、それぞれ6um、34umである。設計したナノポジショナーは、半径10nmのナノポアを有するプローブを用いて、近接速度400nm/msでイメージングできることを検証した。